Multicomponent and multilayered thin films for advanced microtechnologies - techniques, fundamentals and devices
- Författare
- (Edited by Orlando Auciello and Jürgen Engemann)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Kluwer Academic | cop. 1993 | Nederländerna, Dordrecht | xv, 633 sidor. : ill. | 0-7923-2265-7 |